完成了该设备之前的调试和每个部分的检查之后，在制作薄膜过程中必须理解该工艺的基本步骤和程序。PECVD的工艺步骤流程如图6.3所示。装好基片后自动进舟，进舟到位后对工艺管抽真空，恒温一段时间后进行工艺淀积，这一步是关键工艺，在此过程应保持温度、压力、流量、高频功率等参数的稳定性，淀积工艺完成后再清洗、充氮，保证残余气体未留在反应管内，最后退舟、卸片、装片，进行下一循环，整个工艺流程约半小时。

  由于该PECVD是一种特殊、专业性很强的设备。它集机械、电子、高频、计算机、真空、气体、传动及温度控制为一体，如使用得当，经常维护，就不容易出故障。如不按使用说明书严格操作，可能会出错，严重时可能会损坏设备，甚至会出现人身事故。该设备常见故障分析及其排除方法见表6.4。

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  SolarWorld边反倾销边找低价代工 被中国光伏企业绑上“十字架”

  募资10亿元！金辰股份加码高效组件、电池自动化生产线日，金辰股份发布了重要的公告称，公司非公开发行A股股票募集资金金额不超过100,000万元（含100,000万元），将大多数都用在“金辰人机一体化智能系统华东基地项目”及“高效电池片PVD设备产业化项目”，募集资金投资项目主要围绕公司主要营业业务展开。（一）金辰人机一体化智能系统华东基地项目公司拟在江苏省苏州市太湖国家旅游度假

  11月29日，金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。（一）年产40台（套）隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台（套）隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”

  光伏新时代论坛金石能源深度报告大腔室PECVD对异质结（HJT）产业化的重要意义

  9月23日、24日，2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行，光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席，产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结

  2022年，由于光伏技术的逐渐成熟，产品加速从P型向N型的过渡。从光伏技术发展角度来看，TOPCON和异质结是目前热点。业界通常认为：TOPCON是面向过去的技术，表现为和传统电池PERC兼容性较好，兼容PERC设备，设备投资所需成本也低；异质结面是向未来新技术，效率更加高，发电能力更强，未来还可以发展钙钛矿/

  从金辰股份官微获悉，近日，金辰股份首台套微晶HJTPECVD量产设备成功交付发货。HJT异质结是下一代高效光伏电池技术，PECVD设备又是异质结技术路线年，金辰股份组建团队开始研发HJTPECVD设备；2021年6月，金辰股份自主研发的首台HJTPECVD设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证；

  TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触太阳能电池技术，2013年由德国Fraunhofer太阳能研究院首次提出。TOPCon电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，大大降低表面复合和金属接触复合。计算表明，TOPCon电池

  北极星太阳能光伏网获悉，12月29日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）发布了重要的公告称，公司拟以上海理想万里晖薄膜设备有限公司(“理想万里晖”)投前估值36亿元为交易价格，以公司自有资金现金方式向理想万里晖投资1亿块钱，交易价格在评估结果32.99亿元的基础上溢价9.12%，认购理想万里晖新增注册资本424.0028万元人民币，公司持股票比例由3.6929%增加至4.7735%。

  日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用PECVD设备。据介绍，双方团队计划在10层CVD设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面做研究，开发更低成本、更大产能的CVD设备。目前，华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作，设备计划于今年11月份搬入现场。

  金辰股份：拟定增募资不超3.8亿元 用于异质结电池片PECVD设备项目

  4月6日，金辰股份发布了重要的公告称，中国证监会发行审核委员会当日对公司非公开发行股票申请进行了审核。根据审核结果，公司本次非公开发行股票申请获得通过。据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（HJT）高效电池片用PECVD设备项目及补充流动资金。

  近日，由福建金石能源有限公司高效太阳电池装备与技术国家工程研究中心、金阳新能源与华侨大学共同研发的首款钙钛矿/混合型BC（HybridBC）四端叠层太阳电池面世。经同一家第三方权威测试机构测试，该款叠层电池顶层钙钛矿电池（电池面积为0.1cm）的转换效率为21.34%，底层混合型BC电池的转换效率为12.6

  近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所能源材料与器件制造研究部研究员潘旭团队、中国科学技术大学教授肖正国课题组合作，在钙钛矿太阳能电池研究中取得进展，制备出理想带隙为1.33eV的铅锡混合钙钛矿作为太阳能电池吸收层，通过定向锚定策略（STA）对钙钛矿空位缺陷进行精确钝化处理，获

  4月29日，长征五号B运载火箭在海南文昌航天发射场发射成功，成功将我国空间站工程首个航天器--天和核心舱送入预定轨道，发射任务取得圆满成功。据空间站副总指挥甘克力介绍，在核心舱的研制任务中，中国航天科技集团有限公司第八研究院承担了电源分系统、对接与转位机构分系统、测控通信产品、资源舱结构与总装及电缆网研制任务。其中电源分系统作为整个核心舱任务的四大关键技术之一，充当着未来空间站“太空电站”的作用。

  目前，钝化发射极和背面电池(PassivatedEmitterandRearCell，PERC)技术已成为光伏行业中提升晶硅太阳电池转换效率的主流高效技术。PERC技术是通过在硅片的背面增加一层钝化层(氧化铝或氧化硅)，对硅片起到钝化的作用，可有效提升少子寿命。为避免钝化层被破坏，影响钝化效果，还会在钝化层外面再镀一

  2020年9月21日，中国可再次生产的能源学会光伏专业委员会（CPVS）在昆明举行的2020中国可再生能源学术大会暨第二届云南绿色能源国际论坛上发布了2020年太阳电池中国最高效率（CPVSBestResearch-CellEfficiencies）。（来源：微信公众号“中国光伏专委会”）2020太阳电池中国最高效率表*(t),totalarea;(da),de

  6月23日，我国成功发射北斗系统第55颗导航卫星，这也是北斗三号系统最后一颗全球组网卫星。自此，北斗三号全球卫星导航系统星座部署完成，历时20多年的北斗导航系统建设完美收官。据了解，其中太阳电池阵是卫星的唯一供电能源，蓄电池组是卫星储能装置。（来源：微信公众号“元一能源”）上午9点43分，

  黑硅PERC多晶太阳电池采用背抛光工艺，其背面刻蚀深度在4.0±0.2μm，在800～1050nm的光学波长范围内，其反射率较常规刻蚀制备的黑硅多晶太阳电池提升了10%左右；采用氧化铝及氮化硅钝化制备的黑硅PERC多晶太阳电池，WT-2000测得其少子寿命达到33μs；开路电压提升了15.2mV，短路电流提高了0.372A，效

  基于目前主流的常规多晶硅太阳电池生产的基本工艺，对太阳电池在反向偏压下发出可见光的形成原因和发光机理进行了分析验证，根据结果得出，只有在“扩散”环节前引入金属污染才会导致该类异常电池产生，可见光的发射与局部预击穿及温度的升高有关。（来源：微信公众号“太阳能杂志”ID：tynzz1980）01实验1.1实验

  南通苏民新能源科技有限公司(NantongSuminRenewableEnergyTechnologyCo.,Ltd.以下简称“苏民新能源”)2019年12月18日发布新闻宣布，公司研发的大面积高效P型多晶PERC太阳电池转换效率达到22.88%，创造了P型多晶PERC电池的世界新纪录。该结果于2019年12月获得中国光伏权威检验测试机构——国家太阳能光伏产

  1月10日，桂冠电力发布公告称，截至2023年12月31日，广西桂冠电力股份有限公司直属及控股公司电厂2023年年度累计完成发电量285.07亿千瓦时，同比减少31.37%。其中：水电211.01亿千瓦时，同比减少41.50%；火电50.13亿千瓦时，同比增长44.88%；风电18.41亿千瓦时，同比增长2.22%；光伏5.52亿千瓦时，同比

  2023年12月28日上午9时，华中能源监管局帮扶巴东县招引国能长源巴东县沿渡河镇100MW农光互补光伏发电项目（一期）在帮扶点石喊山村并网发电。项目是2023年湖北省重点实施项目，总占地面积2870亩，项目全部并网后，预计年均发电1.2亿千瓦时、产值5000万元。项目的实施将对帮扶点及巴东县的经济社会发展

  近日，鞍钢集团矿山首个兆瓦级光伏项目——鞍钢矿业东鞍山铁矿绿色矿山项目开工。该项目共分为两期，一期将安装容量为6.82兆瓦的光伏发电系统，二期将安装容量为2.05兆瓦的光伏发电系统，预计2024年6月底建成。该项目建成后总发电量达到2.68亿度，在为鞍钢矿业公司及周边公司可以提供稳定的清洁电力同时，

  云南昭通超1GW光伏项目投资主体优选：三峡、大唐、中电建、中城投新能源中选

  1月9日，云南省昭通市能源局公示6个光伏发电项目（总规模105.5万千瓦）投资主体优选中选结果。其中，中电建新能源集团股份有限公司、三峡集团云南能源投资有限公司、中城投集团新能源有限责任公司、大唐云南发电有限公司分别中标4个光伏项目投资主体，总规模84万千瓦；2个项目（总规模21.5万千瓦）因报

  1月9日，河南省工信厅发布对省政协十三届一次会议第1310461号提案的答复，并表示下一步工作规划围绕统筹优化产业布局、支持产业协同创新、加强开放合作力度三方面开展。详情如下：豫工信办案〔2023〕170号河南省工业和信息化厅对省政协十三届一次会议第1310461号提案的答复谢军委员：您提出“关于抢抓

  35MW/35MWh！龙源电力霍邱100MW渔光互补光伏电项目租赁储能配套容量指标服务采购公开对外招标

  2024年1月8日，国家能源招标网发布了龙源电力霍邱龙源新能源有限公司霍邱100MW渔光互补光伏电项目租赁储能配套容量指标服务采购公开招标项目招标公告。项目位于安徽省六安市霍邱县冯瓴镇、潘集镇境内，利用近水塘开发光伏项目，占地面积约2100亩，安装24万余块容量为540Wp的单晶双面光伏组件，直流侧装

  1月4日，安徽省滁州市琅琊区人民政府区长王政在滁州市琅琊区第七届人民代表大会第三次会议上做《2024年政府工作报告》，他表示，2024年，琅琊区将紧盯中央和省市政策走向，积极争取专项债、中央预算内投资等资金，全力推进光伏产业园、永阳人家安置房等一批重点项目建设。全力发展“新三样”。准确把握

  1月8日，翔鹭钨业发布了重要的公告称，公司拟募集资金不超过84,088.71万元，用于年产300亿米光伏用超细钨合金丝生产等项目。公告表示，金刚线是硅片切割环节的核心耗材，金刚线制造采用的母线材料主要是高碳钢丝。而在硅片向大尺寸化、薄片化、N型硅片方向发展的趋势下，更细的金刚线有利于提高切割效率，减少

  1月9日，博威合金发布业绩预告，预计2023年年度实现归属于上市公司股东的纯利润是108,000万元~123,000万元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加54,293.31万元~69,293.31万元，同比增加101.09%~129.02%。对于业绩增长原因，博威合金表示，公司通过差异化的服务，与美国市场主要客户建立了长期、深